高精度研磨機的自動檢測系統 

雙面研磨機作為一種先進精密加工設備，已經越來越受到經濟發達國家的重視；如何高效地獲得光學材料表面良好的粗糙度、平面度和屈曲度已成為超精密研磨加工技術的重要研究方向。

壓力氣動加載精度、上下盤運行的穩定性和高精度的測量裝置的精度是影響研磨設備性能的主要因素。

本文針對雙面研磨控制系統，運用先進的計算機輔助設計技術，先進的監測技術，氣壓控制技術，過程控制技術和人性化的HMI人機界面，使不熟練的操作人員，亦能達到高精度加工水平。

拋棄很多廠家使用的PLC主控制器，使用工控機作為主控制器，增強設備的擴展性及盡可能的降低成本。

使用計算機軟件對雙面研磨加工過程進行數據參數設定、生產流程管理并進行進行監測與控制，可以方便工廠后期的組網和設備管理，設備維護，實現工廠設備的全監控。

使用VB.NET軟件平臺和MS-SQL數據庫，實現圖形化界面功能指標，高精度的位移傳感器，高精度氣壓壓力傳感器，高精度數字比例閥組成聯合控制系統，實現該機的自動加工及控制。

 高精度雙面研磨機的自動檢測系統主要內容如下 

1、工控機軟件控制系統研究；

2、定尺寸磨削及定時間磨削控制方式研究。使用高精度的高度計(分辨率0.52μm,精度2μm)來實時監測研磨工件的尺寸，從而保證工件的尺寸精度；

3、行星運動控制研究及算法。使研磨過程中工件運動軌跡的可變，工件放在游輪內,游輪成為太陽輪和內齒圈所構成差動輪系中的行星齒輪；

4、氣動加壓控制研究。在下氣缸加裝高精度氣壓壓力傳感器時時檢測下氣缸壓力,并將壓力信號反饋給軟件控制系統構成壓力的閉環控制，來保證能夠精確地控工件的壓力，并保持壓力的穩定性；

此外還對機床的砂漿液控制，排液控制，修整控制等自動控制系統；經過設備試運行，證明該設備控制系統的整體狀況良好，運行穩定,各部分子系統工作正常，通過實驗和用戶的長期使用，對雙面研磨機加工藍寶石材料的加工質量、加工效率、加工精度和加工成本進行檢驗。

高精度數控雙面研磨機是電子器件基片（藍寶石襯底、多晶硅單晶硅片、先進陶瓷基片）和智能數碼產品液晶玻璃片的精密數控加工裝備，市場需求量很大。目前國內雙面研磨機存在速度調節困難、工藝適應范圍窄等缺陷，很難滿足光學玻璃、LED藍寶石基片等高端產品的加工要求，這些高端產品的加工裝備主要依賴進口。

本文主要以高精度雙面研磨機的自動檢測系統為例說明介紹的。